显影蚀刻连退膜机

时间:2022-06-01 作者:admin

一.显影(developing)

显影机理是感光膜中未曝光部分的活性基团与稀碱溶液反应生成可溶性物质而溶解下 来,显影时活性基团羧基一COOH与无水碳酸钠溶液中的Na+作用,生成亲水性集团一 COONa。从而把未曝光的部分溶解下来,而曝光部分的干膜/湿膜不被溶胀。

工艺流程如下:

入料--显影---新液洗--2道市水洗 --中和---3道溢流水洗-吸干--出料

显影蚀刻连退膜机DES Machine.jpg

设备设计要求:

显影段:

显影机:有效长度建议在1.6米,槽体容积1200升,泵功率3.75KW,最大压力                   2.0kg/cm2,大槽体的 容积可以让药液的负荷量大,减少换药频率。                  药液补充添加可以根据药水的消耗量计片添加或通过PH控制器来实现                  自动添加。显影机喷盘须要是摇摆式的,分压调控每支喷管压力,以确               保显影均匀性,

显影液:碳酸钠:1±0.2%  ,温度:30±2度,压力1.5±0.5kg/cm,

显影点:40~60%,显影点太后,有可能会出现显影不洁,太前侧有可能会出现                过度显影,而导致线距过宽而线条过细,或孔径过大,或毛刺(锯齿                    状)。

消泡:由于显影液为弱碱体性,经过泵打会在产生大量的泡沫,过多的泡沫易               使药液成悬浮液,而导致PUMP空转,一是影响影显效果,二是对泵本               身也有影响,因此泡沫需要及时处理,我司有专用高效消泡剂(JP                        -0510)消泡与抑泡效果比较好。

特别要注意的是吸水海棉要保持湿润,否则因转动会使得海棉扭曲变形。


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